桌面式自动膜厚仪
简要描述:NS-30 系列 (桌面式自动膜厚仪)是桌面式自动膜厚测量分析系统。在膜厚测量的基础上迭加自动测样载台,能够对设置好的点位进行自动测量,并进一步生成2D和3D的资料分布图。 NS-30系列适用于晶圆膜厚测量或光伏电池膜厚测量等。
详细介绍
| 品牌 | Acuitik | 价格区间 | 面议 |
|---|
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 生物产业,能源,电子/电池,包装/造纸/印刷,汽车及零部件 |
NS-30系列 (桌面式自动膜厚仪)是桌面式自动膜厚测量分析系统。可实现折射率吸收率消光系数测量,在膜厚测量的基础上迭加自动测样载台,能够对设置好的点位进行自动测量,并进一步生成2D和3D的资料分布图。NS-30系列适用于晶圆膜厚测量或光伏电池膜厚测量等。

一、NS-30 系列 (桌面式自动膜厚仪)的特色
1、样品自动测量,平台尺寸100mm~450mm可选;
2、软件根据需求自动生成测量点位分布;
3、2D和3D测绘效果,包含厚度/折射率/反射率等信息;
4、可测量薄膜应力和表面弯曲(Stress/Bow);
二、NS-30 自动 mapping 膜厚仪参数规格 | 型号 | NS-30UV | NS-30 | NS-30NIR |
| 波长范围 | 190 nm – 1100 nm | 380 nm – 1050 nm | 950 nm – 1700 nm |
| 厚度测量范围1 | 1 nm – 40 μm | 15 nm – 80 μm | 150 nm – 250 μm |
| 准确度2 | 1 nm 或 0.2% | 2 nm 或 0.2% | 3 nm 或 0.4% |
| 精度3 | 0.02 nm | 0.02 nm | 0.1 nm |
| 稳定性4 | 0.05 nm | 0.05 nm | 0.12 nm |
| 光斑大小 | 1.5 mm | 1.5 mm | 1.5 mm |
| 测量速度 | < 1s(单次测量) | < 1s(单次测量) | < 1s(单次测量) |
| 光源 | 卤钨灯 + 氘灯 | 卤钨灯 | 卤钨灯 |
| 样品尺寸 | 直径从1mm 到 300mm或更大 | 直径从1mm 到 300mm或更大 | 直径从1mm 到 300mm或更大 |
1 取决于具体材料
2 Si/SiO2(500~1000nm)标样片
3 计算100次测量500nm SiO2标准片的1倍标准偏差,对20个有效测量日的1倍标准偏差取平均
4 计算100次测量500nm SiO2标准片的平均值,对20个有效测量日的平均值做2倍标准偏差
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