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桌面式自动膜厚仪

简要描述:NS-30 系列 (桌面式自动膜厚仪)是桌面式自动膜厚测量分析系统。在膜厚测量的基础上迭加自动测样载台,能够对设置好的点位进行自动测量,并进一步生成2D和3D的资料分布图。 NS-30系列适用于晶圆膜厚测量或光伏电池膜厚测量等。

基础信息

产品型号

NS-30系列

厂商性质

生产厂家

更新时间

2025-11-04

浏览次数

128
详细介绍
品牌Acuitik价格区间面议
产地类别国产应用领域生物产业,能源,电子/电池,包装/造纸/印刷,汽车及零部件
NS-30系列 (桌面式自动膜厚仪)是桌面式自动膜厚测量分析系统。可实现折射率吸收率消光系数测量,在膜厚测量的基础上迭加自动测样载台,能够对设置好的点位进行自动测量,并进一步生成2D和3D的资料分布图。NS-30系列适用于晶圆膜厚测量或光伏电池膜厚测量等。

NS-30 自动 mapping 膜厚仪

一、NS-30 系列 (桌面式自动膜厚仪)的特色

1、样品自动测量,平台尺寸100mm~450mm可选;
2、软件根据需求自动生成测量点位分布;
3、2D和3D测绘效果,包含厚度/折射率/反射率等信息;
4、可测量薄膜应力和表面弯曲(Stress/Bow);
二、NS-30 自动 mapping 膜厚仪参数规格
型号 NS-30UV NS-30 NS-30NIR
波长范围 190 nm – 1100 nm 380 nm – 1050 nm 950 nm – 1700 nm
厚度测量范围1 1 nm – 40 μm 15 nm – 80 μm 150 nm – 250 μm
准确度2 1 nm  0.2% 2 nm  0.2% 3 nm  0.4%
精度3 0.02 nm 0.02 nm 0.1 nm
稳定性4 0.05 nm 0.05 nm 0.12 nm
光斑大小 1.5 mm 1.5 mm 1.5 mm
测量速度 < 1s(单次测量) < 1s(单次测量) < 1s(单次测量)
光源 卤钨灯 + 氘灯 卤钨灯 卤钨灯
样品尺寸 直径从1mm  300mm或更大 直径从1mm  300mm或更大 直径从1mm  300mm或更大
1 取决于具体材料
2 Si/SiO2(500~1000nm)标样片
3 计算100次测量500nm SiO2标准片的1倍标准偏差,对20个有效测量日的1倍标准偏差取平均
4 计算100次测量500nm SiO2标准片的平均值,对20个有效测量日的平均值做2倍标准偏差
 
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