手持式曲面涂层薄膜测厚仪能够在几秒钟内快速分析薄膜的反射光谱数据,并分析单层和多层薄膜的厚度。
1.核心价值在于突破传统设备对平面样品的依赖,其手持式探头设计可直接贴合眼镜、车灯罩等不规则曲面,无需复杂取样或制样。例如,在AR眼镜产线中,该设备可快速测量镜片上减反射膜的纳米级厚度,避免因曲面变形导致的测量误差。
2.设备支持单层及多层薄膜同步解析,内置算法可同时分析3层以上膜系结构。
二、手持式曲面涂层薄膜测厚仪技术原理:白光干涉与光谱反射的融合创新
采用白光干涉与光谱反射复合技术,其测量过程分为三个关键步骤:
1.光信号采集:卤钨灯与氘灯组合光源发射宽光谱光束,经手持探头聚焦于样品表面,形成直径100μm的光斑。光线在薄膜上下表面反射后产生干涉条纹,同时部分光线穿透薄膜形成透射光谱。
2.信号解析:光电探测器同步捕获干涉条纹与透射光谱数据。白光干涉模块通过分析干涉条纹的相位差,计算薄膜的物理厚度;光谱反射模块则根据材料折射率数据库,对透射光谱进行反演运算,修正厚度测量值。
3.智能修正:设备搭载AutoCal自动校准算法,每20个测量日对500nm SiO₂标准片进行双倍标准偏差校准,确保长期稳定性。机器视觉算法可自动识别镜片、车灯等典型曲面的测量区域,并提示最佳测量角度,新手操作员上手时间从2小时缩短至20分钟。
