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悉识科技 非接触桌面式自动 薄膜膜厚测厚仪

简要描述:悉识科技 非接触桌面式自动 薄膜膜厚测厚仪AcuiTik白光干涉膜厚测厚仪NS-30采用垂直入射高稳定宽波段光的光学干涉原理,实现纳米至微米级透明或半透明膜层厚度、反射率及折射率的测量。具备国产化软硬件、高精度与稳定性、非接触测量及智能化算法等特点,适用于多层复合薄膜测量。产品包括桌面式自动测量系统悉识膜厚仪NS-30系列,具有高灵活性与便携性,适合多种应用场景。

基础信息

产品型号

NS-30

厂商性质

生产厂家

更新时间

2025-11-04

浏览次数

279
详细介绍
品牌Acuitik价格区间20万-50万
产地类别国产应用领域生物产业,能源,电子/电池,包装/造纸/印刷,航空航天
悉识膜厚仪NS-30(国产自研,自主可控)
NS-30系列是桌面式自动膜厚测量分析系统。在膜厚测量的基础上迭加自动测样载台,能够对设置好的点位进行自动测量,并进一步生成2D和3D的资料分布图,适用于晶圆膜厚测量。
一、核心原理
垂直入射的高稳定宽波段光入射到样品表面,在各膜层之间产生光学干涉现象,反射光经过光谱分析以及回归算法可计算出薄膜各层的厚度。适合测量纳米级至微米级的透明或半透明膜层的厚度、反射率、折射率等参数。
非接触桌面式自动 薄膜膜厚测厚仪核心功能
二、特色
1、测量范围:可测量1纳米到250微米的薄膜厚度、折射率、反射率。
2、非接触测量:可测量硬质材料、软质材料或表面易受损的样品。
3、高精度,高稳定性:亚纳米级厚度测量精度,静态稳定性可达0.02纳米。
4、多层膜测量能力:可以测量多层复合薄膜各层的厚度。
5、智能化算法:核心IP算法,一键式测量大跨度膜厚,极大简化测量流程。
6、特色软件功能:自研PolarX分析软件,包含配方预测验证、特殊材料捏合等功能。
三、核心功能
薄膜膜厚测厚仪实测结果展示
四、实测结果展示
薄膜膜厚测厚仪实测结果展示
五、特别说明
1、样品自动测量,平台尺寸100mm~450mm可选
2、软件根据需求自动生成测量点位分布
3、2D和3D测绘效果,包含厚度/折射率/反射率等信息
4、可测量薄膜应力和表面弯曲(Stress/Bow)
六、悉识膜厚仪NS-30系列 参数规格

参数规格

参数规格

 
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