简单介绍下桌面式自动膜厚仪的工作原理

 

1.接触式（机械探针法）

 

这是最基础的原理。仪器的高精度探针缓慢接触样品表面，从基底移动到膜层上方，通过探针感知的高度差，直接测量膜层的实际厚度。优点是精度高，适合厚膜（如金属膜、涂层），但可能会轻微损伤样品表面。

 

2.光学式（反射/折射法）

 

利用光的反射或干涉特性工作，也是桌面式非常常用的类型。光线照射到膜层表面后，会同时发生膜层上表面反射和膜层与基底界面反射，两束反射光产生干涉条纹。仪器通过分析干涉条纹的间距、强度等参数，结合膜层的光学折射率，自动计算出膜厚。适合薄膜（如光学膜、半导体薄膜），非接触式不会损伤样品。

 

3.涡流感应法

 

主要针对导电膜层（如金属膜）。仪器的探头产生交变磁场，当磁场靠近导电膜层时，会在膜层内产生涡流，涡流又会反过来影响探头的磁场强度。膜厚不同，涡流强度也不同，仪器通过检测磁场变化量，自动换算出膜层厚度。适合金属膜、导电涂层的快速检测，非接触且效率高。